大日本网屏制造的分光Ellipso式膜厚测定装置

　　大日本网屏制造将与岐阜大学合作开发太阳能电池用微结晶硅薄膜的评测技术，并基于共同研究成果，将于2009年底上市测定大型底板上形成的微结晶硅薄膜厚度的装置。

　　大日本网屏制造自2008年7月正式开展太阳能电池相关业务，此前已上市分光Ellipso式膜厚测定装置。而岐阜大学2008年10月在“未来型太阳能发电系统研究中心”内新设了评测大型太阳能电池结构的“太阳能电池模块评测技术研究开发部门”。

　　此次的共同研究，将通过强化大日本网屏制造的分光Ellipso式膜厚测定装置的功能，开发可以正确测定原来难以实现的微结晶硅薄膜的膜厚和膜质的技术。

　　微结晶硅薄膜是薄膜硅型太阳能电池使用的一种薄膜。目前业界正在进行将微结晶硅薄膜和非晶硅薄膜重叠以提高薄膜硅型太阳能电池转换效率的研究开发。但微结晶硅薄膜存在成膜速度和膜质难以两全的问题。